[实用新型]外延片生产用罩有效
| 申请号： | 201020246547.7 | 申请日： | 2010-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN201753371U | 公开（公告）日： | 2011-03-02 |
| 发明（设计）人： | 楼琦江 | 申请（专利权）人： | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种外延片生产用罩，包括罩体，罩体设置有反应腔，所述罩体设置有进口，进口与反应腔相通，其特征在于，所述罩体包括罩板，至少一块罩板在进口处设置有斜面。本实用新型中的外延片生产用罩，可对射向罩体的气流导向，既能避免浪费，又可以确保进入罩体的气体均匀，可确保衬底表面沉积的单晶薄膜均匀，提高外延片的生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 生产 | ||
【主权项】：
外延片生产用罩，包括罩体，罩体设置有反应腔，所述罩体设置有进口，进口与反应腔相通，其特征在于，所述罩体包括罩板，至少一块罩板在进口处设置有斜面。
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