[实用新型]单晶炉籽晶原点开关装置有效
| 申请号： | 201020242751.1 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201648564U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 周凯忠 | 申请（专利权）人： | 宁夏日晶电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 | 代理人： | 伍贤喆;朱丽琴 |
| 地址： | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉籽晶原点开关。一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座、真空法兰和支撑柱；所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上，所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上，支撑柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母，所述真空法兰为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰的下端安装在法兰座的上端，真空法兰的上端安装在籽晶部件上，所述法兰座的侧面安装有光电传感器。本实用新型通过光电传感器确认原点到位，实现了精确的原点复位功能，彻底解决了原手动作业产生的复点复位精度低、可靠性差的问题，通过波纹管自身的弹性变形确保真空密封情况下连接调整，降低安装难度，实现了快捷的籽晶部件水平调节。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 籽晶 原点 开关 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座、真空法兰和支撑柱；所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上，所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上，支撑柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母，其特征是：所述真空法兰为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰的下端安装在法兰座的上端，真空法兰的上端安装在籽晶部件上，所述法兰座的侧面安装有光电传感器。
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