[实用新型]单晶炉籽晶原点开关装置有效

专利信息
申请号: 201020242751.1 申请日: 2010-06-30
公开(公告)号: CN201648564U 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 周凯忠 申请(专利权)人: 宁夏日晶电子科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 代理人: 伍贤喆;朱丽琴
地址: 753000 宁夏回族自治*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉 籽晶 原点 开关 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉籽晶原点开关装置,包括法兰座、真空法兰和支撑柱;所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上,所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上,支撑柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触,所述调节螺杆上设有调节螺母,其特征是:所述真空法兰为波纹管伸缩真空法兰,真空法兰的下端安装在法兰座的上端,真空法兰的上端安装在籽晶部件上,所述法兰座的侧面安装有光电传感器。

2.如权利要求1所述的单晶炉籽晶原点开关装置,其特征是:所述的光电传感器包括一对小法兰、一对透明玻璃、一对传感器支架、光电开关发射器和光电开关接收器,所述的小法兰中心对称安装在法兰座的侧面上,透明玻璃安装在小法兰内,传感器支架固定在小法兰上,其中一个传感器支架上安装光电开关发射器,另一个传感器支架上安装光电开关接收器。

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