[实用新型]多晶硅还原炉无效
| 申请号： | 201020179016.0 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN201713326U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王春龙 | 申请（专利权）人： | 王春龙 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 214100 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅还原炉，其包括有底座以及其上设置的钟罩形炉体，其中底座上设置有中心出气口，以及围绕中心出气口同心设置的、具有不同半径的多个电极发热体层，每一电极发热体层包括多个沿周向均匀设置的电极发热体，多个电极发热体层的最外层的外侧设置有多个进气口。本实用新型是通过将进气口设置在电极发热体最外层的外侧，使得三氯氢硅和氢气在进气口与出气口之间的对流中穿过全部的电极发热体涵盖，均匀沉积在电极发热体上。而电极发热体的截面面积较大，启动时更稳定，且电极发热体用于硅沉积的表面更大，更利于硅的生长。另外多晶硅还原炉设置有碳素纤维材料或硅材料构成的保温隔热装置，能大大节约能耗，提高产量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉，其包括有底座以及其上设置的钟罩形炉体，其特征是，所述底座上设置有中心出气口，以及围绕所述中心出气口同心设置的、具有不同半径的多个电极发热体层，所述每一电极发热体层包括多个沿周向均匀设置的电极发热体，所述多个电极发热体层的最外层的外侧设置有多个进气口。
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