[实用新型]硅片冲洗机

摘要

一种可自动供水并可循环利用，确保水压高、稳定，冲洗效率高，可保证产品质量的硅片清洗机，包括冲洗槽，其特殊之处是：该硅片冲洗机还设有蓄水槽，在蓄水槽上部和底部分别设有注水管和蓄水槽排水阀门，在蓄水槽内对应注水管处设有水位控制装置，在蓄水槽底部设有出水管，出水管经过第一循环泵和第一阀门后通过分流管与两组冲洗水管连接，两组冲洗水管呈一高一低分别由冲洗槽两侧穿入并横贯冲洗槽，在冲洗槽底部还设有循环水出口，循环水出口经过过滤网、第二循环泵、第二阀门与分流管入口相通。通过两个循环泵的交替工作，使水可以循环利用，保证了冲洗硅片的时间及水压的稳定，节省水资源的同时，使硅片冲洗的更彻底、更干净。

主权项

一种硅片冲洗机，包括冲洗槽，在冲洗槽底部设有冲洗槽排水阀门，其特征是：该硅片冲洗机还设有蓄水槽，在蓄水槽上部和底部分别设有注水管和蓄水槽排水阀门，在蓄水槽内对应注水管处设有水位控制装置，在蓄水槽底部设有出水管，出水管经过第一循环泵和第一阀门后通过分流管与两组冲洗水管连接，每组冲洗水管由二个水管组成，两组冲洗水管呈一高一低分别由冲洗槽两侧穿入并横贯冲洗槽，在冲洗槽底部还设有循环水出口，循环水出口经过过滤网、第二循环泵、第二阀门与分流管入口相通。