[实用新型]硅烷液化、汽化装置无效
| 申请号： | 201020134201.8 | 申请日： | 2010-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN201648003U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李中元 | 申请（专利权）人： | 天津市泰亨气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04;F25J3/06 |
| 代理公司： | 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 | 代理人： | 李凤林 |
| 地址： | 300385 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅烷液化、汽化装置，主要由高纯硅烷成品出口、过滤器、减压阀、高纯氮气和氢气储罐、15MPa压力表、真空规管、真空泵、流量计2、硅烷液化瓶、2.5MPa压力表、取样口、流量计1、1MPa压力表、提纯硅烷进装置入口、水力泵按其系统功能通过其中间连接的阀门的连接管线组装一体而构成。该装置不仅设计合理，制作简单，而且为硅烷提高质量提供了理想的工具。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 液化 汽化 装置 | ||
【主权项】：
一种硅烷液化、汽化装置，其特征在于：高纯硅烷成品出口、过滤器、减压阀、高纯氮气和氢气储罐、15MPa压力表、真空规管、真空泵、流量计2、硅烷液化瓶、2.5MPa压力表、取样口、流量计1、1MPa压力表、提纯硅烷进装置入口、水力泵按其系统功能通过其中间连接的阀门的连接管线组装一体而构成。
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