[实用新型]一种功率器件的铜线键合设备

摘要

一种利用铜线代替金线进行功率器件键合的设备，包括打火杆(2)、送线器(5)、换能器(4)、换能器外端设有供铜线穿过的瓷嘴(3)，还设有一个可防止铜线烧球氧化的双管吹气装置；双管吹气装置包括连通保护气源的两根吹气管，两个出气口相对地位于瓷嘴下端的两侧。可为铜线烧球提供N2和H2的混合气体吹气保护，防止铜线烧球的氧化，使得在现有金线键合设备上用铜线代替金线进行键合也能够实现键合的稳定性和可靠性，键合金属线成本下降约84％，产品整体成本下降5.7-8.6％；还降低了芯片产品的饱和压降参数值，铜线的导电能力比金线提高了约20％，增加了产品的可靠性。且本实用新型的技术方案对现有设备的改动较小，容易实现。

主权项

一种功率器件的铜线键合设备，其包括打火杆(2)、打火杆固定座(8)、送线器(5)、换能器(4)，所述换能器外端向下设有供铜线穿过的瓷嘴(3)，其特征在于，所述铜线键合设备还设有一个可防止铜线烧球氧化的双管吹气装置；所述双管吹气装置包括连通保护气源的两根吹气管，为第一吹气管(10)和第二吹气管(20)，两根吹气管的出气口相对地位于所述瓷嘴(3)下端的两侧。