[实用新型]尾气处理装置有效
| 申请号： | 201020032845.6 | 申请日： | 2010-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN201632175U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 李景伦 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D53/18;B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种尾气处理装置，包括：位于尾气进气口的竖直尾气处理管路以及和所述尾气处理管路连通的水槽，所述尾气处理管路沿尾气流通方向依次包括：加热管道；由紫外灯构成的紫外照射区；冷凝腔，所述冷凝腔具有竖直贯通孔，所述冷凝腔的外壁连接有进水管路，内壁具有多个喷淋口，用于对所述竖直贯通孔中流通的尾气进行喷淋；以及过滤片。所述尾气处理装置尾气处理的效率较高，改善悬浮颗粒残留并堵塞管路的情况。并且，对于悬浮颗粒可回收的尾气，也降低了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种尾气处理装置，包括：位于尾气进气口的竖直尾气处理管路以及和所述尾气处理管路连通的水槽，其特征在于，所述尾气处理管路沿尾气流通方向依次包括：加热管道；由紫外灯构成的紫外照射区；冷凝腔，所述冷凝腔具有竖直贯通孔，所述冷凝腔的外壁连接有进水管路，内壁具有多个喷淋口，用于对所述竖直贯通孔中流通的尾气进行喷淋；以及过滤片。
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