[发明专利]掩蔽材料、掩蔽层、用于掩蔽基材的方法以及用于涂覆基材的方法无效
| 申请号： | 201010624991.2 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102086503A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | T·贝恩特;F-J·拉德鲁 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 石克虎;林森 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及掩蔽材料、掩蔽层、用于涂覆基材的方法以及用于涂覆基材的方法。在涂覆方法中经常使用掩蔽，然而在掩蔽中在气态涂覆方法中必须特别气密。按照本发明使用由陶瓷粉末和金属粉末构成的双层涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 掩蔽 材料 用于 基材 方法 以及 | ||
【主权项】：
掩蔽材料，该掩蔽材料具有陶瓷粉末和金属粉末。
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