[发明专利]制备多光谱硫化锌的工艺方法无效
申请号: | 201010621128.1 | 申请日: | 2010-12-24 |
公开(公告)号: | CN102531040A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 苏小平;杨海;石红春;张福昌;黄万才;魏乃光;赵永田 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
主分类号: | C01G9/08 | 分类号: | C01G9/08 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩兰 |
地址: | 100088*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种制备多光谱ZnS的工艺方法,它采用标准的热等静压炉对原生CVDZnS进行后处理,它包括以下步骤:(1)、将清洗后的CVDZnS工件置于干净的滤纸上晾干、包上箔片待用;(2)、将包裹好的产品放入坩埚中,并装入热等静压炉内;(3)、对热等静压炉进行抽空,抽空至小于50Pa;(4)、以台阶式分段地进行边升温、边升压,到该温度后恒温,压力为50~90Mpa,再进行下一段的边升温、边升压,到该温度后恒温;压力为100~180Mpa。(5)以相同的间隔和速度降温;(6)、泄压取出工件,抛光检测。本发明的优点是:采用标准的热等静压炉后处理原生CVDZnS,工艺方法采用台阶式升降温有效地解决了晶粒异常长大和微结构均匀化等光学质量均匀性。 | ||
搜索关键词: | 制备 光谱 硫化锌 工艺 方法 | ||
【主权项】:
一种制备多光谱硫化锌的工艺方法,其特征在于:它采用标准的热等静压炉对原生CVDZnS进行后处理,它包括以下步骤:(1)、将清洗后的CVDZnS工件置于干净的滤纸上晾干、包上箔片待用;(2)、将包裹好的产品放入坩埚中,并装入热等静压炉内;(3)、对热等静压炉进行抽空,抽空至小于50Pa;(4)、以台阶式分段地进行边升温、边升压,到该温度后恒温,压力为50~90Mpa,再进行下一段的边升温、边升压,到该温度后恒温;压力为100~180Mpa。(5)以相同的间隔和速度降温;(6)、泄压取出工件,抛光检测。
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