[发明专利]双工件台交换结构及其交换方法有效
| 申请号： | 201010618411.9 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102566292A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 赵辉;杨志勇 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及双工件台交换结构及其交换方法，该双工件台交换结构包括两个短行程结构、两个长行程结构、以及两个承载机构；所述两个长行程结构相互平行设置在相互垂直的第一方向与第二方向组成的水平面上；所述短行程结构设置在所述长行程结构上，可垂直于水平面浮起，并且沿所述长行程结构在水平面内移动；所述两个承载机构固定设置在所述两个长行程结构之间，且所述两个承载机构的连线平行于所述两个长行程结构；所述短行程结构沿所述承载机构在水平面内垂直于所述长行程结构的方向上移动，通过所述承载机构在所述两个长行程结构间转移。本发明双工件台交换结构及其交换方法，既可同步交换两个工件台，又可异步交换两个工件台，结构简单、交换方便、工作灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 双工 交换 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种双工件台交换结构，其特征在于，包括两个短行程结构、两个长行程结构、以及两个承载机构；所述两个长行程结构相互平行设置在相互垂直的第一方向与第二方向组成的水平面上；所述短行程结构设置在所述长行程结构上，垂直于所述水平面浮起，并且沿所述长行程结构在所述水平面内移动；所述两个承载机构固定设置在所述两个长行程结构之间，且所述两个承载机构的连线平行于所述两个长行程结构；所述短行程结构沿所述承载机构在所述水平面内垂直于所述长行程结构的方向上移动，通过所述承载机构在所述两个长行程结构间转移。
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