[发明专利]发光二极管激光划切机加工视觉装置无效
| 申请号： | 201010611737.9 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102091866A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 高爱梅 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B23K26/02 | 分类号： | B23K26/02;B23K26/42 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北省石家庄市三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种发光二极管（LED）激光划切机加工视觉装置，涉及激光划切机技术领域。主要具有一个与激光加工光路同轴的正面对准光路，用于透明晶圆的背面识别定位和加工实时监测；一个与激光加工光路同轴的底部对准光路，用于特殊粗化晶圆的正面识别定位；底部对准镜头安装在承片台（24）底部，与正面对准镜头同轴；晶圆背面朝上置于承片台（24）上。不仅能实现对晶圆的正面对准，而且在晶圆背划方式下也能满足粗化晶圆的划切工艺要求，可进行不同晶圆的识别对准和划痕监测，有利于提高生产质量和自动化程度。如果通过激光对焦光路，还可对晶圆进行精确调焦，且成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 激光 划切机 加工 视觉 装置 | ||
【主权项】：
一种发光二极管激光划切机加工视觉装置，其特征在于具有一个与激光加工光路同轴的正面对准光路，用于透明晶圆的背面识别定位和加工实时监测，正面对准光路从下往上依次安装有聚焦物镜（14）、第一半反镜（13）、第二半反镜（12）、辅助物镜（15）和CCD相机（16）；一个与激光加工光路同轴的底部对准光路，用于特殊粗化晶圆的正面识别定位，底部对准光路从上往下依次安装有物镜（1）、第一反射镜（7）、第四半反镜（8）、筒镜（4）和CCD相机（6）。
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