[发明专利]一种全对称硅微谐振式压力传感器有效
| 申请号： | 201010611298.1 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102162756A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王凌云;江毅文;杜江;吕文龙;张弛;邹建男;孙道恒 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/12;B81B3/00 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种全对称硅微谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提供可解决上下平板驱动结构中驱动力的非线性问题，以及驱动力与压力敏感膜片间的耦合问题，基于侧向驱动的一种全对称硅微谐振式压力传感器。设有谐振结构、棱台形硅岛、正方形硅压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃；硅边框内部与正方形压力敏感膜片连为一体，在正方形硅压力敏感膜片的对角线上对称设有4个棱台形硅岛，所述4个棱台形硅岛的四边与所述正方形硅压力敏感膜片的四边平行，4个棱台形硅岛通过与之相连的4根支撑梁将谐振结构平行悬置于正方形硅压力敏感膜片上方；设于硅边框上表面的4根对角线上的4个引线电极通过4根柔性梁与谐振结构连接，实现谐振结构与外界的电气连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种全对称硅微谐振式压力传感器，其特征在于设有谐振结构、棱台形硅岛、正方形硅压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃；硅边框内部与正方形压力敏感膜片连为一体，在正方形硅压力敏感膜片的对角线上对称设置有4个棱台形硅岛，所述4个棱台形硅岛的四边与所述正方形硅压力敏感膜片的四边平行，4个棱台形硅岛分别通过与之相连的4根支撑梁将谐振结构平行悬置于正方形硅压力敏感膜片上方；设置于硅边框上表面的4根对角线上的4个引线电极分别通过4根柔性梁与谐振结构连接，实现谐振结构与外界的电气连接。
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