[发明专利]旋转干涉仪无效
| 申请号： | 201010610340.8 | 申请日： | 2010-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN102162723A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 威廉·S·叶拉兹尼斯;理查德·C·沃特斯 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;孙海龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及旋转干涉仪。通过将激光束分为参考光束和测量光束来干涉测量物体的角位移。所述参考光束被导向固定参考回射器，然后导向相移检测器。所述测量光束被导向所述物体的可旋转反射面，然后导向固定测量回射器，然后回到所述可旋转反射面，然后导向所述相移检测器，从而当所述可旋转反射面移动时，所述测量光束的路程长度改变，所述相移检测器测量所述可旋转反射面的角位移。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种用于对物体的角位移进行干涉测量的装置，所述装置包括：用于生成激光束的装置；以及用于将所述激光束分为参考光束和测量光束的装置，其中所述参考光束被导向固定参考回射器，然后导向相移检测器，其中所述测量光束被导向所述物体的可旋转反射面，然后导向固定测量回射器，然后回到所述可旋转反射面，再然后导向所述相移检测器，从而当所述可旋转反射面移动时，所述测量光束的路程长度改变，所述相移检测器测量所述可旋转反射面的角位移。
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