[发明专利]衬底分析装置及衬底分析方法

摘要

本发明公开了一种衬底分析装置及一种衬底分析方法，其为可通过同一装置进行蚀刻步骤与回收步骤两步骤的小型且简易的分析装置，不论形成于衬底的膜的种类为何皆可进行分析且也适用于衬底上的局部分析。本发明的衬底分析装置，具备由将分析液予以送出及抽吸的喷嘴本体、及配置在喷嘴本体外周的外管所构成的双重管喷嘴，回收手段为双重管喷嘴的喷嘴本体，蚀刻手段为供给至喷嘴本体与外管之间的蚀刻气体。而且，还具备将喷嘴本体与外管之间作为排气路径的排气手段，外管以围绕进行刮引的分析液的方式配置，且在前端具有外气导入孔。依据本发明，可通过同一装置进行蚀刻步骤与回收步骤两步骤，也可进行简易的分析、或针对衬底的特定部位的局部分析。

主权项

一种衬底分析装置，具备：蚀刻手段，通过气相分解法蚀刻包含分析对象物的衬底；及回收手段，从喷嘴前端将分析液送出至衬底上，以所送出的分析液刮引衬底表面后，由喷嘴前端抽吸分析液并回收分析对象物；其特征在于：具备由用以将分析液予以送出及抽吸的喷嘴本体、及配置在喷嘴本体外周的外管所构成的双重管喷嘴；回收手段为双重管喷嘴的喷嘴本体；蚀刻手段为供给至喷嘴本体与外管之间的蚀刻气体。