[发明专利]一种化学机械抛光浆料有效
| 申请号： | 201010585380.1 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102533118A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 荆建芬;蔡鑫元;张建 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于铜的化学机械抛光浆料至少含有一种磷酸酯类表面活性剂，还含有研磨颗粒、络合剂、氧化剂。使用本发明的浆料的可以降低铜的静态腐蚀速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 浆料 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光浆液，其包括：一种磷酸酯类表面活性剂、研磨颗粒、络合剂和氧化剂。
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