[发明专利]高温(600℃)压力测量无源无线声表面波传感器无效
申请号: | 201010574564.8 | 申请日: | 2010-12-06 |
公开(公告)号: | CN102169036A | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 徐春广;周世圆;张运涛;刘婧;肖定国;赵新玉;郝娟;孟凡武;潘勤学 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01L9/08 | 分类号: | G01L9/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种适用于高温(600℃)压力测量的无源无线传感器。本发明的无源无线高温压力传感器包括:压电衬底材料、叉指换能器、反射栅、小型天线、高温引线。高温传感器的核心为单端声表面波谐振器,衬底采用硅酸镓镧,在衬底上沉积制作叉指换能器和反射栅,利用压电效应和逆压电效应进行声表面波的激发和接收。叉指换能器通过天线接收来自无线查询单元的电磁波信号,在衬底表面激发出声表面波向两边传播,并被反射栅反射。反射回的表面波通过叉指换能器重新转换成电磁波信号,由天线传回无线查询单元,并通过信号处理方法,来实现高温时压力的测量。本压力传感器具有一个压力接收膜片用于感应压力,声表面波谐振器采用胶粘剂粘贴在压力膜片上来接收膜片形变。本发明结构简单、体积小、重量轻、精度高、无源无线,适用于航空航天、石油化工、核工业等高温环境压力的无线遥测。 | ||
搜索关键词: | 高温 600 压力 测量 无源 无线 表面波 传感器 | ||
【主权项】:
一种高温环境中(600℃)压力测量的声表面波传感器,其特征在于:它包括压电衬底、叉指换能器、反射栅、小型天线以及天线与谐振器连接的耐高温导线。所述压电衬底、叉指换能器和反射栅构成声表面波谐振器。
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