[发明专利]微电子机械装置有效
| 申请号： | 201010568507.9 | 申请日： | 2006-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102060258A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | N·W·哈古德;J·L·斯泰恩;T·T·布罗斯尼汉;J·甘德希;J·J·菲乔;R·S·佩恩;R·巴顿 | 申请（专利权）人： | 皮克斯特罗尼克斯公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/04;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 杨勇;郑建晖 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 披露了一种微电子机械装置。该微电子机械装置包括：第一部件，其限定平面；梁，其包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层，其中所述梁在垂直于所限定的平面方向上的尺寸是所述梁在所限定的平面内的至少一个尺寸的至少1.4倍。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 装置 | ||
【主权项】：
一种微电子机械装置，包括：第一部件，其限定平面；梁，其包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层，其中所述梁在垂直于所限定的平面方向上的尺寸是所述梁在所限定的平面内的至少一个尺寸的至少1.4倍。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皮克斯特罗尼克斯公司，未经皮克斯特罗尼克斯公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010568507.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
