[发明专利]含芳环的聚合物及含有该聚合物的硬掩膜组合物

摘要

本发明提供了说明书中描述的式3的含芳环的聚合物。本发明还提供了一种具有增透特性的硬掩膜组合物，该组合物含有所述含芳环的聚合物。该硬掩膜组合物适用于平版印刷工艺并且具有优异的光学特性和机械特性。另外，该组合物易于通过旋转涂布技术施用。特别地，该组合物对干蚀刻有很高的抗蚀性。因此，该组合物可用于提供形成高纵横比图案的多层薄膜。

主权项

1.一种含芳环的聚合物，其特征在于，该聚合物如式3所示：其中，G选自和各个R₁选自-CH₂-、和各个R₂选自氢、羟基、C₁-C₁₀的烷基、C₆-C₁₀的芳基、烯丙基和卤素，1≤n＜750，并且2≤m+n＜750。