[发明专利]喷射嘴与晶圆的对中装置及方法

摘要

本发明公开了一种喷射嘴与晶圆的对中装置及方法，装置包括：晶圆装载模块、位置检测模块、参数设置模块和位置调整模块，晶圆装载模块用于装载晶圆；位置检测模块，用于实时地识别喷射嘴的位置及轮廓，获取所述喷射嘴的位置及轮廓数据；参数设置模块，用于根据所述位置及轮廓数据设置所述喷射嘴的参考点；位置调整模块，用于根据位置参数，调整喷射嘴的位置，使喷射嘴的参考点与所述晶圆装载模块上表面的几何中心对准，本发明通过对喷射嘴的位置检测和调整，以实现喷射嘴与晶圆对中，使得喷射嘴与晶圆物理中心的偏差而引起中心区域刻蚀或清洗不足得到解决。

主权项

一种喷射嘴与晶圆的对中装置，其特征在于，包括：晶圆装载模块、位置检测模块、参数设置模块和位置调整模块，所述晶圆装载模块用于装载晶圆；所述位置检测模块，放置在所述晶圆装载模块上，用于实时地识别喷射嘴的位置及轮廓，获取所述喷射嘴的位置及轮廓数据，并将所述位置及轮廓数据发送至所述参数设置模块；所述参数设置模块，用于根据所述位置及轮廓数据设置所述喷射嘴的参考点，将设置的所述喷射嘴的参考点的位置参数传输给所述位置调整模块，所述位置参数为所述喷射嘴的参考点在所述晶圆装载模块上表面所在平面上的投影相对于所述晶圆装载模块上表面几何中心的位置；所述位置调整模块，用于根据接收到的所述位置参数，调整所述喷射嘴的位置，使所述喷射嘴的参考点与所述晶圆装载模块上表面的几何中心对准。