[发明专利]机械搅拌式制绒槽补液装置

摘要

一种机械搅拌式制绒槽补液装置，它包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽，补液泵、单向阀和流量计由输液管串联后设置在储液罐与制绒槽之间，补液泵的吸液口由输液管与储液罐的底部相通连，流量计的出液口经输液管通入制绒槽中，在储液罐中设有电动搅拌棒。由于在储液罐中增设了电动搅拌棒，且控制它在补液泵抽吸前3～5分钟就启动搅拌，这样就能对储液罐中的化学试剂进行均匀搅拌，使得储液罐中的化学试剂上下层浓度均匀，确保每次向制绒槽中的补充的化学试剂的浓度相同，保证制绒槽中制绒液满足工艺要求，从而提高了制绒工艺的稳定性，确保了硅片的制绒质量。

主权项

一种机械搅拌式制绒槽补液装置，它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6)，补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间，补液泵(3)的吸液口由输液管(2)与储液罐(1)的底部相通连，流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中，其特征是：在储液罐(1)中设有电动搅拌棒(7)。