[发明专利]一种通过粒子束提高精密加工精度的方法无效
| 申请号： | 201010554326.0 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102476405A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 杜冲 | 申请（专利权）人： | 大连创达技术交易市场有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116011 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于利用表面改性进行超精密切削加工的新技术，具体讲涉及一种通过粒子束提高精密加工精度的方法，能显著提高超精密加工脆性材料的加工精度和表面粗糙度，大幅度降低刀具的磨损。本发明采用的技术方案是：包括下列步骤：a）利用仿真软件按照切深、表面粗糙度或其他加工要求对加工参数进行模拟；b）使用粒子束轰击或照射待加工单晶脆性材料表面，施以模拟结果所得的能量和剂量；c）利用超精密切削技术对粒子束轰击后的单晶材料进行超精密切削加工；d）测试表征加工后的材料表面质量，对比加工表面质量改善情况。本发明主要用于单晶脆性材料的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 粒子束 提高 精密 加工 精度 方法 | ||
【主权项】：
一种通过粒子束提高精密加工精度的方法，其特征在于：包括下列步骤： （1）利用SRIM 具有仿真功能的软件按照切深、表面粗糙度或其他加工要求对加工参数进行模拟； （2）使用粒子束轰击或照射待加工单晶脆性材料表面，施以模拟结果所得的能量和剂量； （3）利用超精密切削技术对粒子束轰击后的单晶材料进行超精密切削加工，加工深度小于粒子束轰击或照射的深度； （4）测试表征加工后的材料表面质量，对比加工表面质量改善情况。
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