[发明专利]Encore Ta装置部件清洗再生保护治具及相关清洗再生方法无效
| 申请号： | 201010531856.3 | 申请日： | 2010-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN102021512A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 廖宗洁;蒋立峰;卢国云 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁;郑暄 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的内屏蔽体(Inner shield)的cup装配区域的覆盖物，还提供了一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的沉积支撑环部件的工作面内圈非溶射区域的覆盖物，还提供了一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的沉积支撑环部件的底部的覆盖物，还提供了一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的沉积支撑环部件的工作面溶射区域的覆盖物，还提供了相关的清洗再生方法，本发明设计独特巧妙，从而能够减少部件在清洗再生过程中产生的腐蚀，增加部件的使用寿命，增加部件表面film吸附能力，解决产生film脱落问题，开拓新的清洗市场，适于大规模推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | encore ta 装置 部件 清洗 再生 保护 相关 方法 | ||
【主权项】：
一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其特征在于，所述Encore Ta装置部件清洗再生保护治具是用于覆盖住所述Encore Ta装置的内屏蔽体的cup装配区域的覆盖物。
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