[发明专利]聚焦系统、聚焦方法和光学测量设备无效
| 申请号： | 201010531837.0 | 申请日： | 2010-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN102269859A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李国光;严晓浪;马铁中;艾迪格·基尼欧;刘涛 | 申请（专利权）人： | 北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B7/198;G02B27/28;G02B5/10;G01N21/01;G01N21/21;G01B11/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 100191 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种聚焦系统、聚焦方法和光学测量设备。该聚焦系统包括用于改变会聚光束传播方向，将光束会聚于样品表面的至少一个平面反射镜。使用本发明的聚焦系统不仅可以通过简单的操作调节聚焦，而且还可保持会聚光束的偏振状态，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 系统 方法 光学 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种聚焦系统，其特征在于，该聚焦系统包括用于将会聚光束反射后聚焦到样品上的至少一个平面反射元件。
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