[发明专利]大离轴量离轴非球面镜的一种超精密车削加工方法

摘要

本发明属光学器件制造及超精密加工技术领域，涉及一种大离轴量离轴非球面镜的精密车削加工方法，包括：对待加工工件的离轴非球面进行粗加工，选择配重块；采用精密加工机床对对正块进行精密铣削加工，制作对正块；进行偏心量的计算，并根据离轴非球面参数确定加工方程；按照慢刀伺服控制运动方式进行切削加工计算，按照刀具在z方向上位置保持不变的方式，进行非切削区域路径计算；将对正块置于夹具中央，并将待加工工件和配重块按照重量均衡的方式排布在对正块周围，使待加工工件、配重块和对正块一起装配于夹具上；超精密车削加工。本发明提供的加工方法可提高加工效率，增大加工工件尺寸，适用于加工任意离轴量的离轴非球面。

主权项

大离轴量离轴非球面镜的一种超精密车削加工方法，采用慢刀伺服控制的单点车削工艺，在具有直线运动轴X、Z及具有角度定位的车削主轴C的超精密车床上实现，其特征在于，包括下列步骤：1)对待加工工件的离轴非球面进行粗加工，按照粗加工后的工件重量进行配重块的选择；2)采用精密加工机床对对正块进行精密铣削加工，制作对正块，所述的对正块为加工过程中置于夹具中央，与配重块和待加工工件的侧面均相互接触的一个物件；3)根据待加工工件的被加工离轴非球面的口径和对正块尺寸，进行偏心量的计算，并根据离轴非球面参数确定加工方程；4)对于切削区域，按照慢刀伺服控制运动方式进行切削加工计算，对于非切削区域，按照刀具在z方向上位置保持不变的方式，进行非切削区域路径计算；5)将对正块置于夹具中央，保证其中心定位精度在2um以内，并将待加工工件和配重块按照重量均衡的方式排布在对正块周围，使待加工工件、配重块和对正块一起装配于夹具上；6)按照设计好的加工路径进行超精密车削加工。