[发明专利]用于集成电路制造的烤箱

摘要

本发明涉及一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制烤箱的烘烤过程的控制装置，控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器，控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间的第二定时器；用于集成电路制造的烤箱在使用时，第一温控器感应到达到第一烘烤温度时，第一定时器开始计时，当达到第一烘烤时间后，用于集成电路制造的烤箱经过升温或降温的过程，当第二温控器感应到达到第二烘烤温度时，第二定时器开始计时，当达到第二烘烤时间后，烘烤过程结束。由于本发明具有两个温控器及两个定时器，可以通过设定两个烘烤温度及两个烘烤时间来实现对集成电路的二段式烘烤。

主权项

一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制所述的烤箱的烘烤过程的控制装置，所述的控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器，其特征在于：所述的控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间的第二定时器；所述的用于集成电路制造的烤箱在使用时，所述的第一温控器感应到达到所述的第一烘烤温度时，所述的第一定时器开始计时，当达到所述的第一烘烤时间后，所述的用于集成电路制造的烤箱经过升温或降温的过程，当所述的第二温控器感应到达到所述的第二烘烤温度时，所述的第二定时器开始计时，当达到所述的第二烘烤时间后，所述的烘烤过程结束。