[发明专利]一种非破坏性面发射半导体激光器电流限制孔径测定方法无效

专利信息
申请号: 201010298989.0 申请日: 2010-09-29
公开(公告)号: CN101975554A 公开(公告)日: 2011-02-16
发明(设计)人: 徐晨;赵振波;解意洋;周康;刘发;沈光地 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: G01B11/08 分类号: G01B11/08
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 张慧
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种非破坏性面发射半导体激光器电流限制孔径测定方法,属于半导体光电子技术领域。所述测定方法可测量观看所有波段面的发射激光器,并可以测定各种面发射半导体激光器电流限制孔,包括可测量长度的刻度显微镜,测定时,首先将待测半导体激光器施加小电流观察,直到半导体激光器出现微弱荧光,便可看到激光器电流限制孔形状光斑,然后用刻度显微镜观察测量光斑尺寸,即可测定电流限制孔孔径尺寸;所述测定方法对于改善模式特性的光子晶体垂直腔面发射激光器、分布孔激光器,可实现刻蚀缺陷孔即出光孔与电流限制孔的相对位置对准观察,并可随时测定电流限制孔形状,不受波长范围影响。
搜索关键词: 一种 破坏性 发射 半导体激光器 电流 限制 孔径 测定 方法
【主权项】:
一种非破坏性面发射半导体激光器电流限制孔径测定方法,所述测定方法可测量观看所有波段面的发射激光器,其特征在于:所述测定方法可以测定各种面发射半导体激光器电流限制孔,包括可测量长度的刻度显微镜,测定时,首先将待测半导体激光器施加小电流观察,直到半导体激光器出现微弱荧光,便可看到激光器电流限制孔形状光斑,然后用刻度显微镜观察测量光斑尺寸,即可测定电流限制孔孔径尺寸;所述测定方法对于改善模式特性的光子晶体垂直腔面发射激光器、分布孔激光器,可实现刻蚀缺陷孔即出光孔与电流限制孔的相对位置对准观察。
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