[发明专利]阵列测试装置和阵列测试方法无效
| 申请号： | 201010283360.9 | 申请日： | 2010-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN102375252A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 潘俊浩 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;黄启行 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于测试基板是否有缺陷的阵列测试装置。所述阵列测试装置包括：探针组件、摄像单元和测试模块。探针组件包括探针头和设置在探针头上的探针棒。在探针棒上形成有对准标记。摄像单元拍摄对准标记和在基板上形成的电极的图像。本发明通过参照摄像单元所拍摄的图像而为将探针引脚对准相应的电极的操作提供便利。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种测试基板是否有缺陷的阵列测试装置，包括：探针组件，所述探针组件包括探针头和设置在所述探针头上的探针棒，所述探针棒具有在其上形成的对准标记；摄像单元，所述摄像单元拍摄所述对准标记和在基板上形成的电极的图像；和测试模块，所述测试模块测试所述基板是否有缺陷。
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