[发明专利]一种超纯电子级化学试剂的生产方法无效
申请号: | 201010282669.6 | 申请日: | 2010-09-16 |
公开(公告)号: | CN102398895A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 詹家荣;茅惠萍;惠绍樑;沈哲瑜 | 申请(专利权)人: | 上海化学试剂研究所 |
主分类号: | C01B7/07 | 分类号: | C01B7/07;C07C31/10;C07C29/80;C07C29/76 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 200333 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种超纯电子级化学试剂的生产方法,以工业级纯度的试剂为原料,经过化学预处理、过滤,将得到的滤液进行精馏;在精馏过程中对蒸汽进行加热,形成过热蒸汽,过热蒸汽通过微孔膜膜滤除杂质固体颗粒;将蒸汽冷却后进行二级膜过滤,以除去尘埃颗粒。通过上述设计,本发明超纯电子级化学试剂的生产方法,可适用于符合SEMI-C12标准超纯电子级异丙醇以及SEMI-C8标准的超纯电子级盐酸的大规模连续化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 化学试剂 生产 方法 | ||
【主权项】:
一种超纯电子级化学试剂的生产方法,其特征在于,步骤如下:步骤1,室温下,将工业级盐酸或异丙醇进行化学预处理,以提高纯度;过滤,收集滤液;步骤2,将滤液进行精馏;在精馏过程中,对蒸汽进一步加热,形成过热蒸汽,然后使过热蒸汽通过微孔膜进行膜过滤;步骤3,将膜过滤后的过热蒸汽冷却,收集馏分;并将馏分进行二级微孔膜过滤,控制滤液中的颗粒数,得到超纯电子级盐酸或异丙醇。
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