[发明专利]工艺数据监控方法、装置及系统有效
| 申请号： | 201010278844.4 | 申请日： | 2010-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN102053575A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 马平 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺数据监控方法、装置及系统，其方法包括：读取监控下位机所采集的工艺数据组，并根据该工艺数据组生成显示图像；接收至少一个更新后工艺数据，并添加至少一个所述更新后工艺数据至所述工艺数据组中，以生成更新后工艺数据组；根据所述更新后工艺数据组，生成更新后显示图像。本发明的技术方案提供了一种监控上位机接收监控下位机所主动上传的更新后工艺数据以生成更新后显示图像的技术方案，相对于现有技术中主动获取所采集各种工艺数据以生成更新后显示图像的方式，使得监控上位机对更新后工艺数据的处理能力不再受到影响。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 数据 监控 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种工艺数据监控方法，其特征在于，包括：读取监控下位机所采集的工艺数据组，并根据该工艺数据组生成显示图像；接收至少一个更新后工艺数据，并添加至少一个所述更新后工艺数据至所述工艺数据组中，以生成更新后工艺数据组；所述更新后工艺数据为在读取工艺数据组后，所述监控下位机采集工艺数据过程中所主动上传的相对于所述工艺数据组所包括工艺数据已发生变化的工艺数据；根据所述更新后工艺数据组，生成更新后显示图像。
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