[发明专利]一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器及其制作方法有效
| 申请号： | 201010278255.6 | 申请日： | 2010-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101917784A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 许磊;李铁;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H05B3/14 | 分类号： | H05B3/14;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 发明涉及一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器及其制作方法，其特征在于横截面呈“V”字形或倒梯形结构的凹槽形加热膜区通过支撑悬梁与衬底框架相连，加热电阻丝以折线形式排布在加热膜区凹槽的内部并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的电极相连，在加热膜区和支撑悬梁下方是采用硅各向异性湿法腐蚀形成的隔热腔体。本发明提供的三维微型加热器的加热电阻丝排布在具有三维结构的加热膜区的凹槽内部，对流换热引起的热量散失较小，有利于降低加热器的功耗。凹槽结构使得热量集中并提高了加热效率有利于加热器在红外光源和传感领域的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 凹槽 加热 三维 微型 加热器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器，其特征在于横截面呈“V”字形或倒梯形的凹槽形加热膜区通过支撑悬梁与衬底框架相连，加热电阻丝以折线形式排布在加热膜区凹槽的内部并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的电极相连，加热膜区和支撑悬梁下方是采用硅各向异性湿法腐蚀形成的隔热腔体。
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