[发明专利]具有弧度可调的圆弧形加热膜区的三维微型加热器及方法

摘要

本发明涉及具有弧度可调的圆弧形加热膜区的三维微型加热器和方法，其特征在于横截面呈圆弧形凹槽且弧度可调的加热膜区通过支撑悬梁与衬底框架相连，圆弧形凹槽的弧度通过刻蚀方法进行调节，加热电阻丝以折线或曲线的形式排布在加热膜区凹槽的内部并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的电极相连，在加热膜区和支撑悬梁下方是隔热腔体。提供的加热器的加热电阻丝排布在具有三维结构的中心加热膜区的圆弧形凹槽内部，对流换热引起的热量散失较小，有效降低加热器的功耗。使圆弧形的加热膜区热应力降低，提高高温下的机械强度，且加热膜区的弧度可以调节以满足不同应用。

主权项

一种具有弧度可调的圆弧形加热膜区的三维微型加热器，其特征在于：横截面呈圆弧形凹槽且弧度可调的加热膜区通过支撑悬梁与衬底框架相连，加热电阻丝以折线或曲线的形式排布在加热膜区凹槽的内部并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的电极相连，加热膜区和支撑悬梁下方是隔热腔体，圆弧形凹槽的弧度通过两种方法进行调节：一是硅各向异性干法刻蚀与硅各向同性干法刻蚀结合制作横截面呈圆弧形的凹槽；二是硅各向异性湿法腐蚀与硅各向同性干法刻蚀结合制作横截面呈圆弧形的凹槽。