[发明专利]研磨装置

摘要

一种研磨装置，其能够提高研磨工件的精度。借助于由第二加压部件产生且被施加到承载件的压力和第一流体室的由供给到第一流体室的流体产生的内压利用弹性片将工件压到研磨布上，以研磨工件。已经被向下供给到第一流体室中的流体在第一流体室中水平地向外流动，与盘状构件的凹部的侧壁碰撞而向上流动，然后流体从流体出口向外排出，由此，流体供给构件跟随弹性片的运动并且保持与弹性片平行，流体供给构件在第一流体室中被定心。

主权项

一种研磨装置，其用于研磨工件的表面，所述研磨装置包括：研磨板，其具有表面，所述表面贴设有研磨布；研磨头，其用于将所述工件压到所述研磨布上；和驱动机构，其用于使所述研磨头相对于所述研磨板相对移动，其中，所述研磨头包括：主体部；盘状构件，其具有开口端向下的凹部，所述盘状构件被悬挂于所述主体部并且在上下方向上可动；承载件，其位于所述盘状构件的所述凹部中，在所述承载件的外周面与所述凹部的侧壁之间形成规定间隙的状态下，所述承载件被所述盘状构件以所述承载件能相对于水平面倾斜的方式支撑，所述承载件具有流体供给构件，所述流体供给构件具有用于向下喷出流体的多个喷出口；流体供给部件，其用于向所述承载件供给流体以从所述流体供给构件向下喷出流体；弹性片，其被设置于所述盘状构件并且覆盖所述流体供给构件的下侧，以形成第一流体室，所述弹性片能够在其下表面保持所述工件；环状构件，其被设置于所述弹性片的下表面的外缘部，所述环状构件能够包围被保持在所述弹性片的下表面的所述工件；第一加压部件，其用于向下压所述盘状构件，以经由所述弹性片将所述环状构件压到所述研磨布；第二加压部件，其用于向下压所述承载件；和流体出口，其用于从所述第一流体室排出流体，所述流体出口被形成在所述盘状构件的比所述流体供给构件的下表面高的位置，其中，借助于由所述第二加压部件产生并且被施加到所述承载件的压力和所述第一流体室的由供给到所述第一流体室的流体产生的内压，经由所述弹性片将所述工件压到所述研磨布，以研磨所述工件，已经被向下供给到所述第一流体室中的流体在所述第一流体室中水平向外流动，与所述凹部的侧壁碰撞而向上流动，然后所述流体从所述流体出口向外排出，由此，所述流体供给构件跟随所述弹性片的运动并且保持与所述弹性片平行，所述流体供给构件在所述第一流体室中被定心。