[发明专利]控制透镜像质变化的方法有效
| 申请号： | 201010256225.5 | 申请日： | 2010-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN102375344A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 虞晔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种控制透镜像质变化的方法，在利用光刻机进行曝光处理前，对所述光刻机的透镜进行预热或预冷处理，该方法，在光刻曝光过程中，采用预热/预冷机制判断镜头是否需要预热/预冷，能够避开像质变化最快的阶段，从而更好的控制最初曝光时成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 透镜 质变 方法 | ||
【主权项】：
一种控制透镜像质变化的方法，其特征在于，在利用光刻机进行曝光前，对所述光刻机的透镜进行预热或预冷处理。
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