[发明专利]一种超纯硝酸的连续化制备方法无效
| 申请号： | 201010252168.3 | 申请日： | 2010-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN101941683A | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 詹家荣;杨光;周励 | 申请（专利权）人： | 上海华谊微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/46 | 分类号： | C01B21/46 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 31114 | 代理人： | 费开逵 |
| 地址： | 200940*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超纯硝酸的连续化制备方法。先将高岭土与粘结剂聚乙烯醇混合，烧结后用络合剂进行浸渍吸附，制备得到络合剂与固相载体高岭土组成的复合膜；然后再以工业硝酸为原料，在常压下进行一级精馏，收集的馏分通过上述复合膜进行一级膜过滤，滤液常压下进行二级精馏，收集的馏分进行二级膜过滤，连续化得到本发明的目标产物超纯硝酸，含量为70.0±1.0wt％。经检测金属离子杂质的含量均低于1ppb，大于0.5μm的尘埃颗粒低于5个/毫升，符合SEMI C8标准。本发明在精馏的同时分别收集重质废酸和轻质废酸，对废酸进行处理和回收再利用，提高了产品的质量和产能，符合环保的要求，成本低，质量好，产品纯度稳定，适于工业化连续生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硝酸 连续 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超纯硝酸的连续化制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将高岭土研磨成200‑300目的细粉粒，与粘结剂聚乙烯醇混合均匀，低温干燥，在800‑900℃温度下烧结，冷却至室温，用络合剂进行浸渍吸附，得到孔径为0.1‑0.2μm络合剂与固相载体高岭土的复合膜；(2)将70.0‑71.0wt％工业级硝酸在常压，塔顶温度120‑130℃的条件下进行一级精馏，收集得到的精馏馏分在0.1‑0.5MPa的压力下通过步骤(1)中的络合剂与固相载体高岭土组成的复合膜进行一级膜过滤，滤液在常压，塔顶温度130‑140℃的条件下进行二级精馏，收集的馏分进行二级膜过滤，连续化得到目标产物超纯硝酸。
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