[发明专利]电路图案检查装置

摘要

本发明涉及一种电路图案检查装置，能够解决在采用非接触方式与导体图案进行电容耦合的电极的电路图案检查装置中，随着检查对象的导电图案的微细化的进展，得到的检查信号值变小，判断缺陷变难的问题。本发明的电路图案检查装置将具备空开间隔配置的两组的传感器对的检查部移动的同时，通过电容耦合对各导电图案施加由交流信号构成的检查信号，并且通过电容耦合检测传输于导电图案的检查信号，通过利用一次移动的检查分别检测来自各导电图案的检查信号，将这些检测信号与判断基准值进行比较，从而选出缺陷候补，使在各检查信号中的导电图案的位置一致，将缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在缺陷候补的导电图案判断为不良。

主权项

一种电路图案检查装置，将多个导电图案形成直列状的基板作为检查对象，所述电路图案检查装置的特征在于包括：第1传感器对，该第1传感器对具备与所述导电图案中的第一导电图案同时相对向的第一供电电极和第一传感电极；第2传感器对，该第2传感器对具备与从所述第一导电图案间隔预先设定的图案数目的距离的第二导电图案同时相对向的第二供电电极和第二传感电极；移动部，该移动部保持所述第1传感器对和所述第2传感器对，在所述导电图案的上方以一定的距离分开，并且以与该导电图案的直列相交叉的方式进行移动；检查信号供给部，该检查信号供给部在利用所述移动部的所述第1传感器对和所述第2传感器对的移动中，供给所述第一供电电极和所述第二供电电极由交流信号构成的同一检查信号，将该检查信号顺次施加于与所述第一供电电极和所述第二供电电极相对向、并且进行电容耦合的各个导电图案；检查信号处理部，该检查信号处理部将预先设定的判断基准值，与通过分别与施加所述检查信号的所述导电图案进行电容耦合的所述第一传感电极和所述第二传感电极获得的第一检测信号和第二检测信号进行比较，从而选出缺陷候补，进而，以在所述第一检测信号上和所述第二检测信号上的导电图案的位置一致的方式进行使任一检测信号的位置移动的距离轴匹配；以及缺陷判断部，该缺陷判断部将所述导电图案的位置一致的所述第一检测信号和所述第二检测信号中的所述缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在的缺陷候补判断为所述导电图案的真缺陷。