[发明专利]一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法有效
申请号: | 201010232127.8 | 申请日: | 2010-07-20 |
公开(公告)号: | CN101941311A | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 邱万奇;曾艳祥;钟喜春;余红雅;刘仲武;曾德长 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | B32B15/04 | 分类号: | B32B15/04;C25D3/38;C25D15/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖;杨晓松 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法。所述复合镀层从下到上由铜镀层、铜-金刚石复合上砂镀层和铜加固层组成。制备方法包括以下步骤:在工件表面先用电镀法沉积铜镀层,然后在铜镀层的表面沉积铜-金刚石复合上砂镀层,最后在铜-金刚石复合上砂镀层的表面沉积铜加固层,即得到铜-金刚石复合镀层。该铜/金刚石复合镀层体积密度含量高,分散均匀,可用作CVD在铜基体上沉积金刚石薄膜的底层,沉积出的CVD金刚石膜具有镶嵌结构界面,提高CVD金刚石膜/铜基界面结合力。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 复合 镀层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种铜‑金刚石复合镀层,其特征在于:所述复合镀层从下到上由铜镀层、铜‑金刚石复合上砂镀层和铜加固层组成。
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