[发明专利]射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室无效
| 申请号： | 201010230012.5 | 申请日： | 2007-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101896034A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 陈金元;尹志尧;钱学煜;倪图强;饭塚浩 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种应用于等离子体反应腔室上的射频功率源，采用频率合成或射频信号振荡器方式产生N个射频信号，并通过宽带功率放大器将该N个射频信号功率加以放大，随后分离该经过放大的信号。于是射频系统的输出是具有多种频率的射频功率。可选地，这些频率是可以切换的，这样使用者就可以选择射频功率源系统所输出的频率。本发明进一步公开了一种使用该射频功率源的等离子体反应腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 功率 系统 使用 等离子体 反应 | ||
【主权项】：
一种射频匹配连接电路，其用于给等离子体反应腔室的电极提供可切换的射频频率，所述射频匹配连接电路包括：切换开关，其包括一输入端和一第一输出端和一第二输出端；第一匹配电路，其包括一与所述切换开关的第一输出端相连接的输入端以及一与所述电极相连接的输出端，所述第一匹配电路被调谐工作于一第一频率；第二匹配电路，其包括一与所述切换开关的第二输出端相连接的输入端以及一与所述电极相连接的输出端，所述第二匹配电路被调谐工作于一第二频率；并联电容，连接于大地与所述切换开关的输入端之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备(上海)有限公司，未经中微半导体设备(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010230012.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
