[发明专利]一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置和方法

摘要

本发明涉及气体的检测装置和方法，公开了一种分析检测高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置和方法，通过阀门的切换，改变气体流向，来进行分离检测。本发明结构简单，分析过程简便快捷，可以进行在线检测；杂质组分分离效果好；同一装置可完成对多种高纯度非腐蚀性气体的分析需求。

主权项

一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置，其特征在于，结构包括：杂质组分分离气路、氦离子化检测器和氧气预分离气路；杂质组分分离气路包括第一路辅助载气稳流系统、第二路辅助载气稳流系统、样品气体入口、样品气体出口、排气出口A、带吹扫六通阀、样品环A、带吹扫四通阀A、带吹扫四通阀B、分析色谱柱A、分析色谱柱B、分析色谱柱C和零死体积三通阀；其中第一路辅助载气稳流系统、样品气体入口、样品气体出口和样品环A的两端及分析色谱柱A的入口分别连接到带吹扫六通阀；分析色谱柱A的出口、分析色谱柱B的入口、气阻A分别连接到带吹扫四通阀A；气阻A与零死体积三通阀、气阻B和氦离子检测器依次相连；分析色谱柱B的出口、分析色谱柱C的入口、第二路辅助载气稳流系统和排气出口A分别连接到吹扫四通阀B；分析色谱柱C的出口与零死体积三通阀的另一端连接；氧气预分离气路包括带吹扫十通阀、第三路辅助载气稳流系统、第四路辅助载气稳流系统、样品环B、氧吸附柱、分析色谱柱E和排气出口B；氧吸附柱的出口与和分析色谱柱E的入口连接在一起，氧吸附柱的入口、分析色谱柱E的出口、第三路辅助载气稳流系统、第四路辅助载气稳流系统、排气出口B、氧气入口、氧气出口以及样品环B的两端及分别连接到带吹扫十通阀；带吹扫十通阀与带吹扫四通阀A连接。