[发明专利]一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置和方法

权利要求书

1.一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置，其特征在于，结构包括：

杂质组分分离气路、氦离子化检测器和氧气预分离气路；

杂质组分分离气路包括第一路辅助载气稳流系统、第二路辅助载气稳流系统、样品气体入口、样品气体出口、排气出口A、带吹扫六通阀、样品环A、带吹扫四通阀A、带吹扫四通阀B、分析色谱柱A、分析色谱柱B、分析色谱柱C和零死体积三通阀；

其中第一路辅助载气稳流系统、样品气体入口、样品气体出口和样品环A的两端及分析色谱柱A的入口分别连接到带吹扫六通阀；

分析色谱柱A的出口、分析色谱柱B的入口、气阻A分别连接到带吹扫四通阀A；

气阻A与零死体积三通阀、气阻B和氦离子检测器依次相连；

分析色谱柱B的出口、分析色谱柱C的入口、第二路辅助载气稳流系统和排气出口A分别连接到吹扫四通阀B；

分析色谱柱C的出口与零死体积三通阀的另一端连接；

氧气预分离气路包括带吹扫十通阀、第三路辅助载气稳流系统、第四路辅助载气稳流系统、样品环B、氧吸附柱、分析色谱柱E和排气出口B；

氧吸附柱的出口与和分析色谱柱E的入口连接在一起，氧吸附柱的入口、分析色谱柱E的出口、第三路辅助载气稳流系统、第四路辅助载气稳流系统、排气出口B、氧气入口、氧气出口以及样品环B的两端及分别连接到带吹扫十通阀；带吹扫十通阀与带吹扫四通阀A连接。

2.权利要求1所述一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置，其特征在于，所述的带吹扫六通阀设有六个通道，具有两种状态：状态一为：第一通路与第二通路连接，第三通路与第四通路连接，第五通路与第六通路连接；状态二为：第一通路与第六通路连接，第二通路与第三通路连接，第四通路与第五通路连接；

所述的第一通路连接样品气体入口，第二通路连接样品气体出口，样品环A的两端分别连接到第三通路和第六通路；第四通路连接到第一路辅助载气稳流系统，第五通路连接到分析色谱柱A的入口。

3.权利要求1所述一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置，其特征在于，所述的带吹扫四通阀A设有四个通道，具有两种状态；状态一为：第一通路与第二通路连接，第三通路与第四通路连接；状态二为：第一通路与第四通路连接，第二通路与第三通路连接；

所述的第一通路连接到带吹扫十通阀，第二通路依次连接气阻A、零死体积三通阀、气阻B和氦离子检测器，第三通路连接到分析色谱柱A的出口，第四通路连接到分析色谱柱B的入口

4.权利要求1所述一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置，其特征在于，所述的带吹扫四通阀B设有四个通道，具有两种状态；状态一为：第一通路与第二通路连接，第三通路与第四通路连接；状态二为：第一通路与第四通路连接，第二通路与第三通路连接；

所述的第一通路连接到分析色谱柱C的入口，第二通路连接第二路辅助载气稳流系统，第三通路连接到排气出口A，第四通路与色谱柱B的出口连接。

5.权利要求1所述一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置，其特征在于，所述的带吹扫十通阀设有十个通道，具有两种状态；状态一为：第一通路与第二通路连接，第三通路与第四通路连接，第五通路与第六通路连接，第七通路与第八通路连接，第九通路与第十通路连接；状态二为：第一通路与第十通路连接，第二通路与第三通路连接，第四通路与第五通路连接，第六通路与第七通路连接，第八通路与第九通路连接；

所述的第一通路与氧吸附柱、分析色谱柱E和第八通路依次连接，样品环B的两端分别连接到第二通路和第五通路，第三通路与氧气入口连接，第四通路与氧气出口连接，第六通路与第三路辅助载气稳流系统连接，第七通路连接到带吹扫四通阀A，第九通路连接到第四路辅助载气稳流系统，第十通路与排气出口B连接。