[发明专利]束流传输系统及方法有效
| 申请号： | 201010223083.2 | 申请日： | 2010-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN102315065A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 钱锋;陈炯 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种束流传输系统，其包括一束流出射装置和一作为束流传输终点的目标工件，在该束流出射装置与该目标工件之间设有一对相互平行的、分别位于束流传输路径两侧的杆状四极磁铁。本发明还公开了一种利用上述束流传输系统实现的束流传输方法。本发明通过采用该对杆状四极磁铁，一方面能够缩短束流的传输路径，提高束流的传输效率以及到达目标工件处的束流强度；另一方面还能够便捷地对束流的强度分布和角度分布进行控制，从而提高束流的利用效率，并且有利于提高束流的注入剂量均匀性和注入角度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 流传 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种束流传输系统，其包括一束流出射装置和一作为束流传输终点的目标工件，其特征在于，在该束流出射装置与该目标工件之间设有一对相互平行的、分别位于束流传输路径两侧的杆状四极磁铁。
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