[发明专利]光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法及由此获得元件最佳加工参数的方法

摘要

光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法及由此获得元件最佳加工参数的方法，涉及一种光学元件的表面质量评价方法以及一种获得元件最佳加工参数的方法。所述评价方法为：首先获得原始加工表面的形貌数据矩阵，然后利用功率谱密度法、二维连续小波变换法及傅立叶模方法，获得各个特征频率对应的相对激光损伤阈值，然后选择其中的最小值作为评价结果；所述获得元件最佳加工参数的方法，即利用该评价方法，通过比较各种加工参数条件下得到的光学元件的相对激光损伤阈值，进而获得最优加工参数。本发明可用于评价光学元件的质量，并可用于指导光学元件的加工过程。

主权项

光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法，其特征在于它的过程如下：步骤一、利用检测仪器，获取光学元件原始加工表面的形貌数据矩阵；步骤二、根据步骤一获得的形貌数据矩阵，获得光学元件原始加工表面的功率谱密度曲线，进而获得光学元件原始加工表面的各个特征频率以及每个特征频率的幅值；步骤三、对步骤二获得的每个特征频率，采用二维连续小波变换法提取并再现各特征频率的三维形貌，并利用傅立叶模方法计算每个特征频率对应的光学元件内部的光强分布；步骤四、根据步骤三获得的每个特征频率对应的光学元件内部的光强分布，获得每个特征频率对应的的光学元件内部的光强最大值，进而获得每个特征频率对应的相对激光损伤阈值；步骤五、对步骤四获得的每个特征频率对应的相对激光损伤阈值进行比较筛选，获得所有相对激光损伤阈值中的最小值，并将所述最小值作为此次对光学元件评价的结果。