[发明专利]探针卡、测试装置和测试方法无效
| 申请号： | 201010221204.X | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101943709A | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 平塚准 | 申请（专利权）人： | 瑞萨电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 孙志湧;安翔 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了探针卡，测试装置和测试方法，提高了关于晶片上形成的芯片而连续执行的测试的效率。探针卡包括：具有多个第一区域的第一区域组，其每一个都包括多个用于输入垫的探针和用于输入垫的探针，第一区域根据被测晶片上的芯片的排列被排列成L行M列(L，M：自然数)；和包括多个第二区域的第二区域组，其每一个都包括多个用于输入垫的探针，其被定位成对应于被测晶片上的芯片的输入垫，第二区域根据芯片排列被排列成(L×N)行M列(N：自然数)或者L行(M×N)列；并且，如果第二区域组包括(L×N)行和M列，第一区域组和第二区域组根据芯片排列在列方向上被连续连接，以使第一区域和第二区域被排列成{L+(L×N)}行M列。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种探针卡，包括：第一区域组，所述第一区域组包括多个第一区域，所述第一区域每一个都包括多个用于输入垫的探针和用于输出垫的探针，所述多个用于输入垫的探针和用于输出垫的探针被定位成对应于被测晶片上的多个芯片中的一个的输入垫和输出垫，所述第一区域根据所述被测晶片上的所述芯片的排列被排列成L行M列，其中L和M为自然数；和第二区域组，所述第二区域组包括多个第二区域，所述第二区域每一个都包括多个用于输入垫的探针，所述多个用于输入垫的探针被定位成对应于所述被测晶片上的所述芯片中的一个的输入垫，所述第二区域根据所述被测晶片上的所述芯片的所述排列被排列成L×N行M列，N为自然数，或者L行M×N列；其中如果所述第二区域组包括L×N行和M列，所述第一区域组和所述第二区域组根据所述芯片的所述排列在列方向上连续连接，以使所述第一区域和所述第二区域被排列成L+(L×N)行M列；和如果所述第二区域组包括L行和M×N列，所述第一区域组和所述第二区域组根据所述芯片的所述排列在行方向上连续连接，以使所述第一区域和所述第二区域被排列成L行M+(M×N)列。
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