[发明专利]超纯硫酸的制备方法无效
| 申请号： | 201010214321.3 | 申请日： | 2010-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101891161A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 詹家荣;杨光;汤剑波 | 申请（专利权）人： | 上海华谊微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B17/90 | 分类号： | C01B17/90 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 31114 | 代理人： | 费开逵 |
| 地址： | 200940*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种超纯硫酸的制备方法。以工业三氧化硫为原料，在圆形气化器中气化，经冷凝后在圆形气化器中进行二次气化，得到纯化的三氧化硫气体，用稀硫酸循环吸收，收集目标产物超纯硫酸。用本发明方法得到的超纯硫酸主体含量达到96wt％以上，金属离子的杂质含量符合SEMI C12标准。并且本发明采用二次气化来提高三氧化硫原料的纯度，用不同浓度稀硫酸循环吸收纯化的三氧化硫，克服了传统生产方法中产品质量不稳定、产品金属离子杂质含量偏高、能耗大、成本高、易污染的不足，因而本发明方法更适于大规模连续化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 硫酸 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超纯硫酸的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将5‑20℃工业三氧化硫料液，在0.1‑0.15MPa压力下通入圆形气化器中，以2‑5米3/小时的空塔速度，在40‑55℃条件下气化，得到的气体经冷却塔冷凝为液体，相同条件下通入圆形气化器中进行二次气化，得到纯化的三氧化硫气体；2)循环吸收器中，用质量百分浓度为10‑50％的稀硫酸循环吸收步骤1)得到的三氧化硫气体，然后收集目标产物超纯硫酸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华谊微电子材料有限公司，未经上海华谊微电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010214321.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
