[发明专利]一种钠循环法生产太阳能级多晶硅的工艺方法

摘要

本发明涉及一种钠循环法生产太阳能级多晶硅的工艺方法，将氟硅酸钠Na2SiF6加热分解生成四氟化硅SiF4气体和氟化钠NaF；金属钠Na高温汽化成钠Na蒸汽；使四氟化硅SiF4气体和钠Na蒸汽进入反应炉，生成高纯度硅粉，并进入第一收集器高温熔融成多晶硅成品；其它混合气体进入第二收集器，使氟化钠NaF和未反应的钠Na沉积并加热分离；其它混合气体进入第三收集器降温冷却，收集剩余的四氟化硅SiF4气体加水溶解成氟硅酸H2SiF6溶液；剩余的物质喷淋处理；该钠循环法生产太阳能级多晶硅的生产工艺简单，无有毒气体排放，原料来源广泛廉价，符合国家循环经济的概念，并能够将产生的副产品有效利用，大大节省了生产成本，有效促进了太阳能光伏产业的发展。

主权项

一种钠循环法生产太阳能级多晶硅的工艺方法，其特征是：将氟硅酸钠Na2SiF6放入反应器，以300℃‑800℃的温度加热分解1‑5小时，生成四氟化硅SiF4气体和副产品氟化钠NaF，氟化钠NaF冷却成为固体后可以卖出；将高纯度金属钠Na在反应器中，加高温800℃‑1000℃汽化成钠Na蒸汽；同时使四氟化硅SiF4气体和高纯度钠Na蒸汽按1∶4反应式量比沿管道进入反应炉，生成高纯度硅粉；高纯度硅粉进入第一收集器，控制温度在1000℃‑1600℃之间，将粉末状高纯度硅Si高温熔融成块，制成多晶硅成品；其它混合气体进入第二收集器，通过控制温度在800℃‑100℃，使氟化钠NaF和未反应的钠Na沉积，再将氟化钠NaF和钠Na加热分离，氟化钠NaF作为副产品卖出；其它混合气体进入第三收集器，降温到10℃‑0℃冷却，收集剩余的四氟化硅SiF4气体，加水溶解成氟硅酸H2SiF6溶液卖出；剩余的物质喷淋处理。