[发明专利]化学机械抛光液和抛光方法有效
| 申请号： | 201010189611.7 | 申请日： | 2010-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101870851A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 许雪峰;彭伟;姚春燕;胡建德 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B29/00 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 310014*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光液，包括液体，液体中分布有复合磨粒，所述复合磨粒由大颗粒磁性聚合物粒子外面依附小粒径磨料构成，所述磁性聚合物粒子由聚合物材料包裹磁性材料构成。还公开了一种化学机械抛光方法，采用如上所述的化学机械抛光液，利用辅助磁场将复合磨粒把持在软质抛光垫或者硬质抛光器表面，对抛光材料的被抛光面进行抛光。本技术方案在对半导体基片、氧化物和金属等材料以及半导体部件制程中Cu/低k介质等进行化学机械抛光时，可以提高抛光速率，控制并减小抛光面塌边，提高抛光工件的金属表面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光液，包括液体，液体中分布有复合磨粒，其特征在于，所述复合磨粒由大颗粒磁性聚合物粒子外面依附小粒径磨料构成，所述磁性聚合物粒子由聚合物材料包裹磁性材料构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学，未经浙江工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010189611.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：便携式干地机
- 下一篇：阻燃烧、抗静电高分子复合板材
