[发明专利]非球面体测量方法以及装置

摘要

本发明提供一种非球面体测量方法及装置，即使在成为测量对象的非球面体不具有锷状的平面部的情况下，也能够高精度测量面偏差以及面偏斜。通过使用第1干涉仪(1A)和第2干涉仪(1B)的光干涉仪测量，求出非球面透镜(9)的第1透镜面(91)以及第2透镜面(92)的各中心部的形状数据，根据各自的形状数据，在第1测量坐标系中求出第1透镜面(91)的第1脐点(P1)、第1曲率中心以及第1轴线的各位置数据，并且在第2测量坐标系中求出第2透镜面(92)的第2脐点(P2)、第2曲率中心以及第2轴线的各位置数据。基于这些各位置数据、第1测量坐标系以及第2测量坐标系的相对位置关系，求出非球面透镜(9)的面偏差以及面偏斜。

主权项

一种非球面体测量方法，对非球面体的面偏差及面偏斜进行测量，该非球面体通过具有由旋转对称的非球面构成的第1被测面及第2被测面而成，其特征在于，所述非球面体测量方法通过包括以下步骤作为测量工序而成：第1干涉条纹取得步骤，使用第1干涉仪对所述第1被测面的中心部照射第1测量光，且取得由该第1测量光的来自该第1被测面的返回光和第1参照光之光干涉所形成的第1干涉条纹的图像数据；第2干涉条纹取得步骤，使用第2干涉仪对所述第2被测面的中心部照射第2测量光，且取得由该第2测量光的来自该第2被测面的返回光和第2参照光之光干涉所形成的第2干涉条纹的图像数据；第1形状数据取得步骤，基于所述第1干涉条纹的图像数据，在所述第1干涉仪所设定的第1测量坐标系中，求出所述第1被测面的中心部的形状数据即第1形状数据；第2形状数据取得步骤，基于所述第2干涉条纹的图像数据，在所述第2干涉仪所设定的第2测量坐标系中，求出所述第2被测面的中心部的形状数据即第2形状数据；第1轴线数据取得步骤，基于所述第1形状数据，在所述第1测量坐标系中，求出所述第1被测面的脐点即第1脐点的位置数据、该第1脐点中的该第1被测面的曲率中心即第1曲率中心的位置数据、通过该第1脐点及该第1曲率中心的第1轴线的位置数据；第2轴线数据取得步骤，基于所述第2形状数据，在所述第2测量坐标系中，求出所述第2被测面的脐点即第2脐点的位置数据、该第2脐点中的该第2被测面的曲率中心即第2曲率中心的位置数据、通过该第2脐点及该第2曲率中心的第2轴线的位置数据；面偏差、面偏斜分析步骤，基于在所述第1轴线数据取得步骤及所述第2轴线数据取得步骤中所求出的各位置数据、和预先所确定的所述第1测量坐标系与所述第2测量坐标系的相对位置关系，求出所述面偏差及所述面偏斜。