[发明专利]具有可调谐振频率的双轴扫描镜面

摘要

本发明公开了一种双轴微电子机械系统(MEMS)器件。该器件包括一个可围绕着框架旋转轴旋转的框架。一对框架扭力杆使框架连接到沿着框架旋转轴的支架。一个镜板可围绕着镜面旋转轴旋转，该镜板旋转轴基本上垂直于该框架旋转轴。一对镜板扭力杆使该镜板连接到沿着镜板旋转轴的框架。一个或多个框架惯性矩调节块放置在远离框架旋转轴的镜板的一个表面上。此外，一个或多个镜板惯性矩调节块放置在远离镜板旋转轴的镜板的一个表面上，使得该镜板轴的距离决定该双轴MEMS器件的谐振频率。

主权项

一种双轴微电子机械系统(MEMS)器件包括：一个可围绕着框架旋转轴旋转的框架；一对连接在框架和支架之间的框架扭力杆，该框架扭力杆沿着框架旋转轴延伸；一个可围绕着镜面旋转轴旋转的镜板，该镜面旋转轴基本上垂直于该框架旋转轴；一对镜板扭力杆，连接在镜板和框架之间并且沿着镜板旋转轴延伸；一个或多个惯性矩调节块，用于改变框架的惯性矩，一个或多个框架惯性矩调节块的每一个都具有一个质量中心，该质量中心的位置基本上远离在镜板表面上的框架旋转轴；以及一个或多个惯性矩调节块，用于改变镜板的惯性矩，一个或多个镜板惯性矩调节块的每一个都具有一个质量中心，该质量中心的位置基本上远离在镜板表面上的镜板旋转轴，其中镜板惯性矩调节块到镜板轴的距离决定该双轴MEMS器件的谐振频率。