[发明专利]微机电系统麦克风无效
| 申请号： | 201010182766.8 | 申请日： | 2010-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101959109A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;孟珍奎 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机电系统麦克风，其包括：背极板和与所述背极板相对设置的振膜，其中，所述背极板设有主体部，所述振膜设有振动部，所述振膜与所述背极板之间设有完全覆盖所述主体部或所述振动部的绝缘层，当所述绝缘层完全覆盖所述主体部时，所述绝缘层与振动部之间设有间隙；当所述绝缘层完全覆盖所述振动部时，所述绝缘层与主体部之间设有间隙。本发明的微机电系统麦克风可以有效的防止其在工作时所述振膜与所述背极板在吸合电压处发生吸合。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 麦克风 | ||
【主权项】：
一种微机电系统麦克风，其包括：背极板和与所述背极板相对设置的振膜，其中，所述背极板设有主体部，所述振膜设有振动部，其特征在于：所述振膜与所述背极板之间设有完全覆盖所述主体部或所述振动部的绝缘层，当所述绝缘层完全覆盖所述主体部时，所述绝缘层与振动部之间设有间隙；当所述绝缘层完全覆盖所述振动部时，所述绝缘层与主体部之间设有间隙。
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