[发明专利]测量重掺硅中氧含量的装置及方法无效
| 申请号： | 201010182414.2 | 申请日： | 2010-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101832930A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 季振国;席俊华;毛启楠 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量重掺硅中氧含量的装置及方法，该装置主要由脉冲激光器、聚焦透镜、样品台、出射光透镜组合、光谱仪、电脑、机械泵、真空阀门、分子泵、真空室、样品操纵杆组成；具有灵敏度高、测量时间短、样品无需特殊处理等技术特点。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 重掺硅中氧 含量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种利用激光击穿光谱测量重掺硅中氧含量的装置，其特征在于，包括：脉冲激光器、聚焦透镜、样品台、出射光透镜组合、光谱仪、电脑、机械泵、真空阀门、分子泵、真空室、样品操纵杆。其中，所述真空室上置有激光入射窗口、发射光出射窗口和备用窗口，样品台通过样品操纵杆置于真空室内，聚焦透镜和脉冲激光器依次排列在激光入射窗口前，出射光透镜组合位于发射光出射窗口前，出射光透镜组合通过光纤与光谱仪相连，光谱仪通过USB连接线与电脑相连，分子泵与真空室相连，机械泵通过真空阀门与分子泵相连。
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